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真空無氧烤箱,無氧化真空烘箱 工業烘箱

真空無氧烤箱,無氧化真空烘箱 工業烘箱

簡要描述:

真空無氧烤箱,無氧化真空烘箱用于光刻膠BCB,聚酰亞胺PI/CPI固化,BPO固化,LCP纖維熱處理,

真空無氧烤箱,無氧化真空烘箱

真空無氧烘箱用于光刻膠BCB,聚酰亞胺PI/CPI固化,BPO固化,LCP纖維熱處理,晶圓干燥烘烤等工藝,主要用于集成電路、化合物半導體、MEMS微機電、TFT/LCD等半導體相關行業。


兼容性:2寸-12寸/碎片兼容。

低氧濃度:可達20PPM氧氣下實現真空固化。

能耗低,真空狀態固化,節約了80%N?量。

無污染,腔體內部所有材料均為316L醫用級不銹鋼,無任何顆粒產生。


真空無氧烤箱,無氧化真空烘箱

溫度:RT-400/500度

真空度:小于1torr

操作:真彩人機界面,一鍵運行

冷卻方式:水冷卻+風冷

氣路:2路N2

程序模式:程序運行10個,每個程序可設置25步

隔熱材料:陶瓷纖維

工作腔:40-800L可選

工藝要求

  1. 降低腔體氧濃度

  2. 真空后升溫,線性升溫至1xx℃,保溫一定時間

  3. 再線性升溫至1xx℃,保溫約 60min;

  4. 繼續升溫至x00℃,視涂層厚度不同加熱10-x0min

  5. 保溫約60min;

  6. 降溫至100℃以下

  7. 充氮氣回壓開門


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