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HMDS烘箱真空泵,HMDS烘箱無油泵 工業烘箱

HMDS烘箱真空泵,HMDS烘箱無油泵 工業烘箱

簡要描述:

HMDS烘箱真空泵,HMDS烘箱無油泵真空干泵具有靜音(&lt;50dBA)和低振動運行的,
密封設計(真空區與電機和軸承全隔開) 可提供潔凈的泵內氣體環路;從而消除了油或油脂帶來的污染風險。

HMDS烘箱真空泵,HMDS烘箱無油泵

真空干泵具有 靜音<50dBA)和低振動運行的,

密封設計(真空區與電機和軸承全隔開) 可提供潔凈的泵內氣體環路;從而消除了油或油脂帶來的污染風險。

極限壓力:1.33 x 102 mbar (1 x 102Torr)

最大入口壓力:1.0 個大氣壓(0 psig)

冷卻 方式:風冷

泵凈重: 34 q (75 bs);含包裝: 45 kg(100bs)

尺寸 (高x寬x長(mm)):364x 333x 485

泄漏速度(密封排氣口時):< 1 x 10° sccs (1 x 10 mbar.l/s)

HMDS烘箱真空泵,HMDS烘箱無油泵用途


HMDS烘箱的作用

    HMDS烘箱是將HMDS蒸汽通過干燥的真空腔內加熱到一 定溫度,在襯底表面上HMDS作為單層膜進行化學結合,使這樣的襯底表面具有疏水性。從而增強光刻與襯底表面的粘附性。

HMDS烘箱性能

溫度范圍:RT+10-250℃

真空度:≤1torr

控制儀表:彩色觸摸屏控制,操作更加簡單,方便

HMDS工藝:蒸汽氣相涂布

安全檢測:超溫保護,HMDS泄漏檢測提示

儲液瓶:HMDS儲液瓶 

真空泵:無油渦旋真空泵

工作室(mm):300*300*300/450*450*450、定制



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