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墨點烘箱,墨點氮氣烘箱 工業烘箱

墨點烘箱,墨點氮氣烘箱 工業烘箱

簡要描述:

墨點烘箱,墨點氮氣烘箱是半導體行業,芯片加工工藝流程中打墨點工藝后,將硅片放入烘箱進行墨點烘干專用設備。

墨點烘箱,墨點氮氣烘箱的來源

   隨著半導體技術的快速發展,芯片的集成度也隨之不斷提高,使得芯片的制作工藝日趨復雜。為了保證較高的成品率,對整個芯片加工工藝流程和裝置設備的要求就會更加嚴格。在曝光過程中,由于曝光系統一次曝光的面積大小是有限的,因此在曝光時會產生非全部曝光的芯片。工藝過程中,為了監控過程工藝質量,需要對這樣的非完整芯片進行標識。

   傳統的標識方法主要采用物理墨點的形式對非完整芯片進行標識,主要步驟為:在芯片完成過程工藝及測試后,將硅片放入物理墨點的設備,輸入專用程序,對第一顆非完整芯粒進行打墨點工藝,待打點完成后,將硅片放入烘箱進行墨點烘干操作。

墨點烘箱,墨點氮氣烘箱性能要求:

溫度范圍:RT+10~200℃;

溫度偏差:≤±2.0℃;
升溫速度:≤5℃/min;
內部尺寸:

450×450×450mm(4)

500×500×550mm(6)

600×600×700mm(8)

可定制

電源:AC380V 50HZ  

輸入氣體:N2
氮氣烘箱結構:
箱體材料:外箱采用優質不銹鋼或冷軋板噴塑;
內室材料:采用SUS304不銹鋼;
保溫材料:高性能環保陶瓷纖維; 
置物架:2層;
空氣循環:強制循環;


  氮氣烘箱適用于半導體、電子、液晶顯示、LCD、PCB,CMOS、IC、LCP、PI、BCB、醫藥、實驗室等生產及科研部門。潔凈烘箱也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其它高溫試驗。

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上海雋思實驗儀器有限公司主要經營優質的墨點烘箱,墨點氮氣烘箱 工業烘箱等,歡迎來電咨詢墨點烘箱,墨點氮氣烘箱 工業烘箱詳細資料等信息
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