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光伏電池片HMDS處理系統,HMDS預處理烘箱
光伏電池片HMDS處理系統,HMDS預處理烘箱

光伏電池片HMDS處理系統,HMDS預處理烘箱就是涂膠前要進行增粘處理。由于襯底表面吸水特性,使疏水的光刻膠無法與親水的晶圓表面結合良好。未經過HMDS表面處理的晶圓在后道工藝中容易造成漂條、浮膠等,導致光刻圖形轉移的失敗,同時濕法腐蝕容易發生側向腐蝕。

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HMDS烘箱,太陽能電池片HMDS烘箱
HMDS烘箱,太陽能電池片HMDS烘箱

HMDS烘箱,太陽能電池片HMDS烘箱適用行業:MEMS、太陽能、電池片、濾波、放大、功率等器件,晶圓、玻璃、貴金屬,SiC(碳化硅)、GaN(氮化鎵)、ZnO(氧化鋅)、GaO(氧化鎵)、金剛石等第三代半導體材料。

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HMDS烘箱真空泵,HMDS烘箱無油泵 工業烘箱
HMDS烘箱真空泵,HMDS烘箱無油泵 工業烘箱

HMDS烘箱真空泵,HMDS烘箱無油泵真空干泵具有靜音(50dBA)和低振動運行的, 密封設計(真空區與電機和軸承全隔開) 可提供潔凈的泵內氣體環路;從而消除了油或油脂帶來的污染風險。

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HMDS專用烘箱,HMDS真空涂膠系統 工業烘箱
HMDS專用烘箱,HMDS真空涂膠系統 工業烘箱

HMDS專用烘箱,HMDS真空涂膠系統適用行業:MEMS、濾波、放大、功率等器件,晶圓、玻璃、貴金屬,SiC(碳化硅)、GaN(氮化鎵)、ZnO(氧化鋅)、GaO(氧化鎵)、金剛石等第三代半導體材料。

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桌上型HMDS烘箱,小型HMDS真空烤箱 工業烘箱
桌上型HMDS烘箱,小型HMDS真空烤箱 工業烘箱

桌上型HMDS烘箱,小型HMDS真空烤箱采用HMDS涂布方法改變晶圓表面的親水性,從而增大晶圓表面的接觸角),增強光刻膠和晶圓的粘附力。

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HMDS增粘劑烘箱,HMDS涂膠機 工業烘箱
HMDS增粘劑烘箱,HMDS涂膠機 工業烘箱

HMDS增粘劑烘箱,HMDS涂膠機即HMDS(六甲基二硅烷)增粘劑氣相涂布,涂膠工藝的配置機臺。

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碳化硅HMDS烘箱,SiC襯底HMDS烤箱 工業烘箱
碳化硅HMDS烘箱,SiC襯底HMDS烤箱 工業烘箱

碳化硅HMDS烘箱,SiC襯底HMDS烤箱將HMDS氣相沉積至半導體制造中氮化鎵(GaN)和、碳化硅(SiC)、硅片、砷化鎵等材料表面后,經系統加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變為疏水,其疏水基可很好地與光刻膠結合,起著偶聯劑的作用

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