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晶元烘箱的技術工藝及流程

更新時間:2023-07-25   點擊次數:231次
  晶元烘箱是半導體制造過程中關鍵的設備之一,用于處理晶元在制造過程中的濕度和雜質等問題。下面將介紹該烘箱的技術工藝及流程。
 
  烘箱預熱:在開始使用烘箱之前,需要進行預熱操作。這是為了確保烘箱內部溫度的均勻性,以及去除可能存在的雜質和濕氣。通常使用高溫來預熱烘箱,使其達到穩定的工作溫度。
 
  晶元裝載:預熱完成后,將待處理的晶元放置到烘箱的載盤上。載盤通常采用特殊材料制成,可以承受高溫并確保晶元的平穩運輸。
 
  清潔烘烤:在晶元進入烘箱之前,必須確保其表面沒有雜質。因此,在烘箱中的一個步驟是對晶元進行清潔烘烤。這通常包括在高溫下加熱晶元,以去除可能附著在其表面的有機和無機雜質。
晶元烘箱
 
  高溫烘烤:晶元進入正式的高溫烘箱處理階段。在這個過程中,烘箱內部會維持特定的溫度和時間條件,以去除晶元表面和內部的濕氣。高溫可以使雜質蒸發并從晶元表面揮發掉。
 
  冷卻:完成高溫烘烤后,晶元需要進行冷卻,以確保其溫度逐漸降低到安全的水平。這通常通過將晶元保持在烘箱內,等待其自然冷卻或者使用輔助的冷卻裝置來實現。
 
  取出晶元:冷卻完成后,可以將晶元從烘箱中取出。此時,晶元應該已經干燥并去除了大部分的雜質。
 
  總結起來,晶元烘箱的技術工藝及流程包括預熱、晶元裝載、清潔烘烤、高溫烘烤、冷卻和取出晶元等步驟。通過這些步驟,晶元可以得到適當的處理,以滿足半導體制造的要求。

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