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HMDS烘箱涂布的HMDS是如何除去的?

更新時間:2023-11-10   點擊次數:227次

HMDS烘箱是將晶圓表面暴露于蒸汽態的HMDS的方式氣相涂膠。氣相HMDS主要是用來增黏的作用。

HMDS中文名六甲基二硅氮烷,是一種有機物,在水中的溶解性很低,但它可與多種有機溶劑混溶,比如醇、醚和多數非極性溶劑。溶劑清洗:可以使用有機溶劑溶劑(如異丙醇)來清洗晶圓,以去除多余的HMDS。

HMDS烘箱的作用

HMDS烘箱也稱為HMDS預處理系統,HMDS蒸鍍機等,是將HMDS蒸汽通過干燥的真空腔內加熱到一 定溫度,在襯底表面上HMDS作為單層膜進行化學結合,使這樣的襯底表面具有疏水性。

HMDS烘箱性能

溫度范圍:RT+10-250℃

真空度:≤1torr

控制儀表:彩色觸摸屏控制,操作更加簡單,方便

HMDS工藝:蒸汽氣相涂布

安全檢測:超溫保護,HMDS泄漏檢測提示

儲液瓶:HMDS儲液瓶 

真空泵:無油渦旋真空泵

工作室(mm):300*300*300/450*450*450、定制

 

 

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